林本坚获2018将来科学大奖数学与计较机科学奖

网易科技讯 9月8日，第三届“将来科学大奖”颁奖仪式上林本坚摘得三项大奖之一的“数学与计较机科学奖”。奖金为100万美元奖金，行使方法不受限定。

林本坚一系列打破性的创新所开辟的浸润式微影（也称光刻）要领，刷新了集成电路的制程，使先辈半导体芯片的特性尺寸能一连缩减为渺小纳米量级，在已往十五年以及可预见的将来，为制作最强盛的计较和通讯体系做出了要害孝顺。

传统的“干式”微影自1959年半导体家产界发现平面积成电路以来被一连行使了四十年，然而受限于根基光学衍射，在90年月后期，用该要领制造特性尺寸小于65纳米的芯单方面对无法超越的瓶颈。林本坚预见昂贵的“干式”微影技能将进入死角，提议行使浸润式或“湿式”微影，该要领是一种新的微影工序，透过液体介质置换透镜和晶圆外貌之间的气隙以进步光学理会精度。固然原始的浸润式观念在80年月曾提出过，但间隔可实现的要领很远。为使得全面表征及优化浸润式微影体系，林本坚界说了并导出了要害机能指标和缩放公式，为极高理会度的三维浸润式微影光学体系类型了必需遵行的缩放定律。他还研发出降服液体中微气泡形成的要领，开辟了在热力学极限下，经过水而衍射的微影工序。他的一系列发目前科学和工程上证实了“湿式”微影要领可用于最先辈的IC制程，他的打破性发现和耐久的技能引领促使环球半导体家产界改用“湿式”微影要领。在已往的十五年中浸润式微影要领用最有本钱效益的193nm ArF为激光源显影，将IC技能节点从65nm循财富蹊径图一连降至7nm，使得摩尔定律得以一连延长了七代。按照IEEE近期的数据统计，浸润式微影技能制造了至少天下上80％的晶体管。

自六十年前发现集成电路以来，半导体技能敦促了人类汗青上最大的家产及社会化革命。在庆贺集成电路降生六十周年之际，将将来科学大奖的数学和计较机科学奖 - 授予这位极具成绩的科学家和发现家，半导体家产界的好汉，“浸润式微影之父”不只适当且意义深远。

公家号“常识分子”先容称，正是由于他的发现，影响了天下半导体财富成长的技能路径，包罗英特尔等在内的一大批国际巨头由此舍弃耗资庞大的研究蕴蓄跟随其技能尺度，以后培育了台湾半导体的光辉成绩，对台湾科技业成长孝顺庞大。

林本坚出生在越南，在台湾上高中，并于1970年得到美国俄亥俄州立大学电机工程博士。他在IBM不绝进步成像技能，一干就是22年。2000年，林本坚回到台湾，插手了台积电。

出席本届将来科学大会颁奖礼的尚有丁健、徐小划一捐赠人代表，饶毅、王晓东、谢晓亮、丁洪等科学委员会成员。

2016年，将来科学大奖正式设立，成为中国大陆第一个由科学家、企业家群体配合提倡的民间科学奖项。一年一届，将来科学大奖的颁奖工具不限国籍，但必要是在大中华地域（包括中国大陆地域、香港、澳门及台湾）完成研究的科学家，且研究要具备原创性、恒久重要性和庞大的国际影响。

2016年，首届将来科学大奖的“生命科学奖”和“物质科学奖”得主别离为香港中文大学传授卢煜明和清华大学传授薛其坤。

2017年，将来科学大奖增设“数学与计较机科学奖”。

2018年，将来科学大奖新增6名科学委员会成员。

附：

2018年将来科学大奖科学委员会名单：

【数学与计较机规模】

李飞飞，美国斯坦福大学计较机科学系终身传授、人工智能尝试室主任，谷歌云人工智能和呆板进修首席科学家；

李凯，普林斯顿大学Paul & Marcia Wythes讲席传授，美国工程院院士；

励建书，上海交通大学、香港科技大学讲座传授，中国科学院院士；

舒其望，美国布朗大学应用数学讲座传授

田刚，北京国际数学研究中心主任，中国科学院院士；

夏志宏，南边科技大学讲座传授，美国西北大学Pancoe讲席传授。

张懋中，台湾新竹交通大学校长，美国工程院院士，中央研究院院士

“将来科学大奖”三大奖项对应的捐赠人名单：

【“数学与计较机科学奖”的捐赠人】

丁磊，网易公司首创人、董事局主席兼首席执行官

江南春，分众传媒首创人、董事长

马化腾，腾讯公司董事会主席兼首席执行官

王强，真格基金连系首创人，新东方连系首创人

（注：每个单项奖的100万美元奖金都由4位企业家分摊捐赠，且每个大奖、每个捐赠人都理睬捐赠10年，从而保障基金的可连续性。）

本文来历：网易科技报道 责任编辑：王凤枝_NT2541

（编辑：河北网）

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