三星率先为DRAM芯片导入EUV：明年将用于DDR5/LPDDR5大规模量产

当前在芯片制造中最先辈的EUV（极紫外光刻）工艺被三星率先用到了DRAM内存颗粒的出产中。

这家韩国巨头今天公布，已经出货100万第一代10nm EUV级（D1x）DDR4 DRAM模组，并完玉成球客户评估，这为此后高端PC、手机、企业级处事器等应用规模开启新大门。

得益于EUV技能，可以在精度更高的光刻中镌汰多次图案化的一再步调，并进一步晋升产能。

三星暗示，将从第四代10nm级（D1a）DRAM或高端级14nm级DRAM开始全面导入EUV，来岁基于D1a大局限量产DDR5和LPDDR5内存芯片，估量会使12英寸晶圆的出产率翻番。

不外，今朝支持DDR5的PC平台尚未表态，LPDDR5倒是已经逐渐放开。三星量产的第一代EUV DDR5 DRAM单芯片容量为16Gb（2GB），所在是平泽市的V2线。

按照三星此前的预判，EUV将辅佐公司至少推进到3nm标准。

（编辑：河北网）

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